使用無(wú)塵車(chē)間空氣過(guò)濾網(wǎng)有哪些要求
不同工廠的空氣質(zhì)量要求差異很大。配有通風(fēng)櫥和污染控制設(shè)備的工廠需要補(bǔ)充大量空氣。如果這些區(qū)域的環(huán)境空氣受到污染,必須先將其過(guò)濾,然后再將補(bǔ)充的空氣分配到工作場(chǎng)所。
在半導(dǎo)體制造和制藥工業(yè)中,需要空氣潔凈度。在典型的工作環(huán)境中,每立方英尺空氣中有500,000個(gè)顆粒,新的半導(dǎo)體生產(chǎn)要求是每立方英尺空氣僅1個(gè)顆粒。因此,工作場(chǎng)所需要經(jīng)歷由高效過(guò)濾網(wǎng)過(guò)濾的清潔空氣不斷循環(huán)和清潔。
為了保持HEPA過(guò)濾網(wǎng)的清潔度和使用壽命,需要幾種效率較低的預(yù)過(guò)濾網(wǎng)組合使用。生產(chǎn)工廠空氣過(guò)濾網(wǎng)應(yīng)用,工業(yè)潔凈室需要連續(xù)有效地去除較小的顆粒尺寸粒子。 HEPA過(guò)濾網(wǎng)曾經(jīng)是有效的過(guò)濾網(wǎng),現(xiàn)在ULPA高效過(guò)濾網(wǎng)是有效的過(guò)濾網(wǎng),未來(lái)將開(kāi)發(fā)新一代高效過(guò)濾網(wǎng)。微玻璃纖維過(guò)濾介質(zhì)是過(guò)濾介質(zhì)的主要選擇,但是膜和靜電增強(qiáng)介質(zhì)已滲透到該領(lǐng)域并獲得了一些應(yīng)用。
對(duì)于工廠和車(chē)間排放的廢氣,嚴(yán)格的要求是毒性。一些重金屬如汞,砷,鉻,銻等毒性很大,其排放限制特別嚴(yán)格。在空氣毒性方面,美國(guó)和德國(guó)新的更嚴(yán)格的立法已經(jīng)通過(guò)。實(shí)施新立法后,空氣毒性限值從原來(lái)的20 mg/m3(標(biāo)準(zhǔn))降至010004 mg/m3(標(biāo)準(zhǔn))。為了實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo),工廠需要更的過(guò)濾網(wǎng)來(lái)去除亞微米顆粒。
一些德國(guó)公司使用傳統(tǒng)的折疊微玻璃纖維高效過(guò)濾網(wǎng)用于過(guò)濾系統(tǒng)中以與脈沖空氣清潔機(jī)構(gòu)相互作用并使過(guò)濾介質(zhì)的波紋更密集。一家美國(guó)公司通過(guò)設(shè)計(jì)管狀微纖維HEPA過(guò)濾網(wǎng)向前邁出了一步。