現(xiàn)在半導(dǎo)體工廠對生產(chǎn)環(huán)境的清潔度特別批判，對空氣過濾器的要求也越來越嚴(yán)格，在半導(dǎo)體工廠，半導(dǎo)體工廠對空氣過濾器起著特別重要的作用，是必不可少的。讓我們一起來理解一下。

空氣中海鹽顆粒是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵顆粒較大，普通過濾器可以過濾。據(jù)說從事電子工業(yè)的理想場所應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，但是沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)，芯片工廠像蜂一樣建在沿海地區(qū)，在過濾器上花更多的錢。

活性炭過濾器的過濾等級技術(shù)使?jié)崈羰业姆蹓m濃度幾乎為零，想要更干凈。芯片線寬小到0.5mm時，發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成為影響成品率的主要危害，因此在線寬小于0.5mm的芯片工廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了精密空氣過濾器。精密空氣過濾器的原理和制造技術(shù)并不復(fù)雜。那是活性炭過濾器，但傳統(tǒng)的活性炭過濾器制造商和軍需工廠沒有乘坐芯片工廠的巴士。芯片工廠深圳活性炭過濾器大多由空調(diào)過濾器制造商提供。

化學(xué)污染物的來源可能是：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。大多數(shù)情況下，設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場工作人員不能說清污染物的種類和濃度，因此提供的化學(xué)過濾器至少應(yīng)具有廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料兩個特點(diǎn)。廣譜吸附是指什么都能吸附，具有這種功能的是普通便宜的粒子活性炭。如果能確定污染物的種類，可以對活性炭材料進(jìn)行有針對性的化學(xué)處理，增強(qiáng)對特定污染物的吸附能力。過濾器供應(yīng)商有時還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù)，以幫助用戶確定反滲透過濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過濾的有經(jīng)驗(yàn)的人，并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。

半導(dǎo)體工業(yè)并不是人們普遍認(rèn)為的“無煙工業(yè)”，也就是說它也是有環(huán)境問題的，稍不小心就會造成嚴(yán)重的化學(xué)污染。因此，為了保險起見，半導(dǎo)體廠一般都會使用空氣過濾器。

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